作为目前西方世界上唯一能够生产最先进euv光刻机的制造商,as-ml哪怕已经掌握了5纳米甚至是3纳米这种极其先进半导体制程的核心光刻机。但是在它发展的过程中,却也并非一帆风顺。
按照历史来看,有些魔幻的是,在2006年之前,全世界半导体霸主还是一个叫做尼康的企业。
霓虹的尼康公司在上世纪八十年代推出了光刻机nsr-1010g和商用的步进式光刻机stepper,成为80年代半导体光刻机产业的翘楚,一时间霓虹在科技产业上有了明日之星的范。
“十分巧合”的是,同年代,荷兰飞利浦公司与一家荷兰芯片设备代理商合资成立了as-ml。
成立之初,as-ml只有账面上的几十个员工,办公地点也是传说中的简易厂房。
而后这家不被人看好的公司,在成立的第一年就能神奇的开发出第一代的步进式扫描光刻机pas2000,并且以此十分顺利的争取到市场订单。
等到九十年代,as-ml更是直接在北美的纳斯达克以及荷兰阿姆斯特丹交易所进行同步上市,而且还成功了。
并且在上市成功之后,as-ml不仅赚了大钱,还十分果断的从飞利浦手中回购了全部的股份,实现真正意义上的完全独立。
随后在2004年as-ml研发出了第一台浸润式光刻机样机,并且极其顺利的先后拿下ibm和台积电等国际主流大客户的订单。
在成为国际顶级的光刻机巨头之后,as-ml又一次“十分幸运”的接收到了euv遗产。
这个事情还要从1997年英特尔和美利坚能源部牵头成立euvllc联盟的时候说起。
当时euv技术发展缓慢,并且需要的资源太多,所以在“公平公开”的竞争当中,美利坚最终选择了当时技术储备还不强的as-ml加入euv联盟。
asml由此获得了美利坚甚至是世界上最领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造等相关技术的优先使用的资格,同时as-ml也十分“懂规矩”的将自己的生产、接受监管的权限交给了山姆大叔政-府。
数年时间,euvllc联盟的研发人员发表了数百篇论文,大幅推进了euv技术的研究进展,证明了euv光刻技术的可行。
但就在果实即将成熟的时候,euvllc联盟竟然神奇的解散了。
而联盟的成果,则被英特尔和as-ml进行了瓜分,从联盟解散的世纪之初,到2010年,as-ml吸收完联盟遗产,并且在美利坚资本和政-府的大力帮助下,成功生产出第一台euv光刻机——nxe3100的euv光刻机,,并且将其交付给了台积电进行芯片代工生产。
至此,全球硅基半导体便以as-ml马首是瞻,其每年生产的光刻机都是各大半导体企业竞相追捧的宝贝。
美利坚也成功实现掌控半导体领域的目的。
左手有顺从贴心的as-ml,可以轻松遏制全球任何一个半导体芯片代工企业。右手有资本主导的英特尔,控制着每一台计算机的核心cpu。
哪怕是之后有amd这个新人,但追根溯源,amd掌握的技术也是美利坚的果子,所以也是一家人。
甚至为了断绝后来者的发展之路,as-ml在2012年还提出一个“客户联合投资计划”,简称为ccip。
简单来说,就是接受客户的注资,客户成为股东的同时拥有优先订货权。
这样不仅使as-ml能够拥有大量资金进行研发,同时也保证了客户对先进光刻技术的优先使用权。
当时的半导体行业三大龙头:英特尔、台积电、韩星,自然是纷纷响应,不敢不从。
英特尔斥资41亿美元收购荷兰芯片设备制造商阿斯麦公司的15%股权,另出资10亿美元,支持阿斯麦加快开发成本高昂的芯片制造科技。台积电投资8.38亿欧元,获取阿斯麦公司约5%股权。韩星斥资5.03亿欧元购得3%股权,并额外注资2.75亿欧元合作研发新技术。
最终,阿斯麦以23%的无用股权,不仅获得了53亿欧元的资金,还直接将世界前三的半导体龙头给紧密捆绑了起来。
这就是as-ml的半导体帝国兴盛史,从各方报道来看,充满了神奇、励志,美利坚资本、荷兰创始人都是那么正义的在推动科技发展,甚至是“不求回报”。
而英特尔、台积电、韩星这些半导体厂商,更是为了让自己的设备提供商拥有更好的发展,纷纷“握手言和”对其给钱给资源。
只不过这个被美好的叙述词汇给包裹的故事,内核却是美利坚的霸权行径。
英特尔、台积电、韩星这些公司,哪怕是有商业竞争,哪怕三方谁都巴不得另一方赶紧破产死去,但在霸权的威压下,也不得不“慷慨解囊”,近乎于上贡一般的给as-ml打钱。
十月二十三日,凌晨。
在荷兰第五大城恩荷芬城郊,世界半导体设备第一大厂as-ml总部。
一栋被安保和军队严密保护着的巨大厂房里,有无数穿着无尘工作服的员工正在车间工作。
哪怕此时是凌晨三点半,根本不是“人道主义的西方”该拥有的工作时间。
euv光刻机所使用的euv光线能量有极高的破坏性,而严密的光刻机在控制这种光线的时候,自然也需要极其敏感。精密的材料设备。
甚至因为空气中的各种分子会干扰euv光线,所以这个巨大工厂的许多车间,都是真空环境。
as-ml首席执行官温彼得,此时也没有在床上躺着。
他皱着眉头,在车间外看着里面的员工和机器,神情阴霾。
他背负着双手,来回走动着。
“先生,请不要在车间外随意走动,您应该知道工厂内要求安静。”
负责as-ml光刻机某项目的工程师科尔森,出言打断了温彼得的动作。
面对这些顶级工程师,as-ml首席执行官温彼得自然不会唱什么反调,觉得对方在冒犯自己的权威。
相反,他态度顷刻间转变为谦逊,抱歉道:“请原谅我的烦躁,实在是竞争对手给了我们太多出乎意料的‘惊喜’。”
作为一个能在as-ml负责具体项目的工程师,科尔森自然不是什么酒囊饭袋。
他指着不远处的一个车间说道:“euv光刻机最关键零件之一,由德国蔡司生产的反射镜需要做到极限的完美无瑕,瑕疵大小仅能以皮米计算。
首席执行官,您应该知道,一奈米为百万分之一厘米,而一皮米也就是一奈米的千分之一。
这是什么概念?
如果反射镜面积有整个德国领土的大小,那么这块反射镜的最高突起处不能高于一公分。”
说道这里,工程师叹了口气。
他转过头,望着东方,感慨道:“在遥远的大夏,他们进入精密工业行业才多久,现在就已经做出了不逊色于我们的光刻机。
九州科技旗下的效光科技公司制造出了稳态微聚束发展出来的ss1mb光源,那么浦东微电子又是从哪里弄到了如此平整的反射镜呢?
还有九州半导体所使用的光刻胶生产工艺,蚀刻工艺,每一个环节的工程设备又是如何调整?
这真是让人百思不得其解的谜团。”
此时此刻,科尔森已然没有当初领导项目时候的意气风发。
在感慨的时候,他脑海中除了浮现那个年轻的大夏天才,还有一个身影频繁出现。
亚洲人的普遍五官,面黄枯瘦,工作时候虽然矜矜业业,但却木讷到,让人怀疑这人的学历是否是造假的。
“科尔森博士,您说的对。只不过我们在法务上,短时间内还无法取得成果,九州科技的法务部几乎是无所不用其极的在阻挠着我们。
而且浦东微电子所生产的ss1mb光源光刻机,目前仅有一台在高丽韩星的工厂,我们无法通过游说这些手段,让高丽韩星将这台光刻机交给我们拆解研究。
而且据我所知,九州科技与高丽韩星合作的那几家工厂,只要是使用九州半导体生产工艺的工厂,都已经被九州安保控制,他们正在暴力侵占高丽韩星的资产。
唉……”
面对as-ml首席执行官温彼得的“哀叹”,科尔森倒是没有反对。
他还煞有其事的给出了建议。
“先生,其实九州科技半导体能够发展如此迅速,有部分原因是因为他们招聘很多我们以及我们的伙伴公司,比如台积电、英特尔这些企业的研发人员、工程师。
虽然让九州科技找了一些漏洞,招聘到了部分还未签竞业协议的人,但这也说明这部分人是可以游说的。
毕竟他们当初可以从自己的原公司离开,去一个根本没有半导体业务的公司,肯定很大部分原因是金钱的问题。
只要我们能够给他们更高的薪水和待遇,肯定可以在人才资源这方面,打败九州科技。
并且只要将这些人招聘回来,我们就可以从他们口中套取到足够多的情报,甚至结合高丽韩星工厂的那台光科技,反向破解出九州科技的半导体技术。”
首席执行官温彼得在听到科尔森的这个建议后,眼神光彩了几秒钟,随后又暗淡了下去。
他摇头否定道:“自从那些人进入九州科技园区后,我们公司,台积电、英特尔甚至是高丽韩星,也都游说过他们,甚至给出了项目分红、公司期权的诱惑,但都被拒绝了。
甚至九州科技法务部还在国际上起-诉我们这些举动,说我们意图盗取公司机密、大夏郭嘉机密。
我们公司法务部这些年也为了这些案子在焦头烂额。而且据我们所知,九州科技几乎给每一个参与项目的人,都签署了竞业协议,并且都有按时发放足额的协议补贴。
所以,哪怕我们曾经说动过几人,但最后面对那苛刻的竞业协议和天价违约金,哪怕是我们表示愿意出资给这些人缴纳违约金,但仍然没有一个人敢踏出那一步。”
“唉……”科尔森叹了口气。
随后不远处也有人同步叹了口气。
之后又有人也开始叹起气来。
一个小小的车间外休息室,引发了叹气浪潮。
这一天,as-ml总部工厂,有无数人开始唉声叹气起来。
不论是“手上活精湛”的工程师,又或者是普通员工,公司高层管理,只要是看过了新闻之后,就没有一个脸色好看的。
在唉声叹气之中,as-+ml内部也有部分华裔选择了辞职。
虽然他们此时进不去九州科技、浦东微电子这些企业,但夏芯科技却是在全球范围大扔橄榄枝。
经过短短几日的发酵,as-ml股价是一跌再跌,根本就不能看。
而这一切的始作俑者——九州科技,却在无数企业、机构想对付它的时候,展现出了自己刺猬的一面。
黄朝仁成为了九州科技对外发言人之一。
他在台上,对着一种发色各异的记者,以一个全球顶级科技企业高层的身份,破天荒的使用着大量网络用语。
什么“尼玛”、“握草”更是随口就来。
反正原则就是一个,对所有抹黑九州科技的言论,进行狂轰乱炸式喷涌。
每当他把实际资料说完后,就必定会对《华尔街日报》、《纽约时报》这些媒体进行点名批评。
甚至“不实报道”、“抹黑污蔑”,说的这些记者都有些不愿意继续待在这里。
这不过碍于情报消息来源的可靠和及时,他们往往是上午挨喷,下午报道后,又继续老实回来挨喷。
……
夏科院高能物理研究所所长有一个颇为女性化的名字,王芳。
谁能想到在这个有些朴素的女性名字下,是一位地中海中年人的面孔呢?
这位物理学家正在一个年轻人面前,十分有耐心的讲解着:“建设大科学装置就像谁最先有望远镜、显微镜,谁最早得到科学最新的东西,谁做了谁就走在前面。
江门中微子实验是19个国家和地区共同参与的一次大规模国际合作,这在此前并不多见。近年来,无论是大亚湾反应堆中微子实验、江门中微子实验还是大型环形正负电子对撞机,我们夏科院高能所正逐渐把世界科研的目光吸引到大夏。”
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